[15p-F204-1~19] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-F204-5] 高濃度Al ドープ4H-SiC の伝導機構の評価と低抵抗率化の可能性

〇(M2)竹下 明伸¹、今村 辰哉¹、高野 晃大¹、奥田 和也¹、松浦 秀治¹、紀 世陽²、江藤 数馬²、児島 一聡²、加藤 智久²、吉田 貞史²、奥村 元² (1.大阪電通大、2.産総研)

キーワード：伝導機構