[15p-F205-1~10] NV center in diamond: quantum information, quantum sensing, and bio applications

[15p-F205-4] Creation of Vacancies by Ion Implantation and Conversion Efficiency to NV Center

〇Shinobu Onoda¹, Kazumasa Tatsumi^1,2, Moriyoshi Haruyama^1,2, Tokuyuki Teraji³, Junichi Isoya⁴, Keisuke Yamada¹, Takashi Tanii⁵, Hiroshi Kawarada⁵, Takahiro Shinada⁶, Wataru Kada², Osamu Hanaizumi², Takeshi Ohshima¹ (1.QST, 2.Gunma Univ., 3.NIMS, 4.Univ. of Tsukuba, 5.Waseda Univ., 6.Tohoku Univ.)

Keywords:NV center, Ion implantation, Diamond

ダイヤモンド中のNVセンターは優れたスピン特性を有し、ナノスケールセンサーや量子通信・コンピューティングへ応用されている。任意の場所にNVセンターを形成できるイオン注入では、窒素だけでなく多量の原子空孔がダイヤモンド中に導入される。原子空孔等が残留するとNVセンターのスピン特性が損なわれる。発表では、イオン注入の要点を述べ、原子空孔がNVセンターへと変換される割合や原子空孔の拡散過程を議論する。