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[15p-F206-9] MnSi1.7とSiGeの複合構造薄膜における熱伝導率のGe量依存性
キーワード:熱伝導率、マンガンシリサイド
有望な熱電変換材料の一つであるMnSi1.7の熱伝導率を低減することを目的に、SiGeとのナノ複合構造化による熱伝導率低減を試みた。作製した複合構造薄膜の構造解析により、Geは母材料のMnSi1.7ではなく添加材料であるSiに添加されることを明らかにした。Ge量を増加させると薄膜の熱伝導率は、ナノスケールのフォノン散乱と音速の低下によりMnSi1.7系で最小である0.8W/Kmまで低下した。