[15p-MH-1~7] インフォマティクスがもたらす結晶成長プロセスの革新

[15p-MH-5] エピタキシャル成長のマルチフィジックスシミュレーションの現状

〇白石 賢二^1,2、関口 一樹²、長川 健太²、白川 裕規²、川上 賢人²、山本 芳裕²、洗平 昌晃^1,2、永松 謙太郎¹、新田 州吾¹、岡本 直也^3,2、芳松 克則^1,2、寒川 義裕^4,1、柿本 浩一⁴、天野 浩^1,2,5 (1.名大未来研、2.名大院工、3.名大計科セ、4.九大応力研、5.名大VBL)

キーワード：GaN、MOVPE、シミュレーション

エピタキシャル成長に関するマルチフィジックスシミュレーションの現状について議論する。特にGaNのMOVPE成長について焦点を絞り、これまでのMOVPE成長シミュレーションが大前提としていた化学反応が現実の結晶成長条件において本当にメインの化学反応と成り得るか？という基本的なことから議論し、インフォマティクスと協働するための物理的に正確な結晶成長シミュレーションにあり方について議論する。