[15p-MH-1~7] インフォマティクスがもたらす結晶成長プロセスの革新

[15p-MH-6] シンクロトロン放射光を用いた結晶成長プロセス評価

〇高橋 正光¹ (1.量研機構)

キーワード：結晶成長、X線回折・散乱、その場測定

シンクロトロン放射光を用いた結晶成長中のその場測定により生み出される大量データをもとにしたインフォマティクスの可能性について議論する。我々は、大型放射光施設SPring-8のビームラインBL11XUで、X線回折計と一体化した分子線エピタキシー装置を開発し、III-V族化合物半導体や窒化物半導体結晶成長への応用を進めてきた。この測定で得られる時分割三次元逆格子データには、結晶成長過程の情報が凝縮した形で含まれる。