[15p-P11-1~11] 7 ビーム応用（ポスター）

[15p-P11-1] 3極型大電力パルススパッタを用いたスピント型冷陰極の作製

〇成田 智基¹、谷口 日向¹、大家 渓¹、中野 武雄¹、長尾 昌善²、村上 勝久²、大崎 壽² (1.成蹊大理工、2.産総研)

キーワード：電子源、スピント型、大電力パルススパッタ

2層のフォトレジスト、あるいはMo/SiO₂を用いて微小ホールを持つキャビティ構造を形成したSi基板上に、外部電源によりプラズマ電位を制御できる構成とした3極型大電力パルススパッタ装置を用いてMoを成膜し、スピント型エミッタの作製を試みた。外部電源電圧や放電ガス圧力などを様々に変えて実験を行い、各成膜パラメータに対するエミッタ形状の依存性を調べた。