[15p-P13-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-P13-6] ボールミリング法を用いたSi系ナノシート束の作製

〇渥美 七虹¹、佐々木 謙太²、袁 佩玲³、立岡 浩一² (1.静岡大工、2.静岡大総合科技研工、3.静岡大創造科技院)

キーワード：半導体、ナノシート、カルシウムシリサイド