2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-P13-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2017年3月15日(水) 16:00 〜 18:00 P13 (展示ホールB)

16:00 〜 18:00

[15p-P13-7] CaSi2をテンプレートとしたNH4Cl処理によるSi系ナノシート束の作製

齋藤 優弥1、佐々木 謙太1、熊澤 佑貴1、渥美 七虹2、引地 啓太2、袁 佩玲3、立岡 浩一1 (1.静岡大総合科技研工、2.静岡大工、3.静岡大創造科技院)

キーワード:半導体、ナノシート、カルシウムシリサイド