[15p-P13-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-P13-7] CaSi₂をテンプレートとしたNH₄Cl処理によるSi系ナノシート束の作製

〇齋藤 優弥¹、佐々木 謙太¹、熊澤 佑貴¹、渥美 七虹²、引地 啓太²、袁 佩玲³、立岡 浩一¹ (1.静岡大総合科技研工、2.静岡大工、3.静岡大創造科技院)

キーワード：半導体、ナノシート、カルシウムシリサイド