[15p-P13-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-P13-8] MgCl₂溶融塩を用いたSi系ナノシート束の作製

〇熊澤 佑貴¹、立岡 浩一¹ (1.静岡大総合科技研工)

キーワード：シリサイド、ナノシート、ナノ構造