[15p-P14-1~11] 13.3 絶縁膜技術

[15p-P14-4] シリコン窒化膜の常磁性欠陥に対する熱処理の効果(Ⅳ)

〇数見 理¹、小林 清輝¹ (1.東海大院工)

キーワード：シリコン窒化膜