[15p-P3-1~26] 6.3 Oxide electronics

[15p-P3-18] Fabrication and Characterization of MIS Type Self-Switching Diodes Using Zinc Oxide

〇Sohei Matsuda¹, Koki Nagayama¹, Yi Sun¹, Masatoshi Koyama¹, Toshihiko Maemoto¹, Shigehiko Sasa¹, Seiya Kasai² (1.Osaka Inst. of Tech. NMRC, 2.Hokkaido Univ. RCIQE)

Keywords:Zinc Oxide, Diodes

酸化亜鉛（ZnO）はp形薄膜を作製することが極めて難しく，pn接合による整流素子の作製が困難である．そこで我々は新しい構造を用いた整流素子であるプレーナ型のセルフスイッチングダイオード（SSD）に注目し，完全透明化とその電気特性について報告してきた．今回，我々は素子構造と整流比の改善を目的とし，MIS構造を有するSSD（MIS-type SSD）の作製を行った。その電流-電圧特性や整流比を評価したのでそれらの結果について報告する．