[15p-P3-1~26] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-18] 酸化亜鉛を用いたMIS型セルフスイッチングダイオードの作製と評価

〇松田 宗平¹、永山 幸希¹、孫 屹¹、小山 政俊¹、前元 利彦¹、佐々 誠彦¹、葛西 誠也² (1.阪工大ナノ材研、2.北大量集センター)

キーワード：酸化亜鉛、ダイオード

酸化亜鉛（ZnO）はp形薄膜を作製することが極めて難しく，pn接合による整流素子の作製が困難である．そこで我々は新しい構造を用いた整流素子であるプレーナ型のセルフスイッチングダイオード（SSD）に注目し，完全透明化とその電気特性について報告してきた．今回，我々は素子構造と整流比の改善を目的とし，MIS構造を有するSSD（MIS-type SSD）の作製を行った。その電流-電圧特性や整流比を評価したのでそれらの結果について報告する．