[15p-P3-1~26] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-20] Nd:YAGレーザーの第4次高調波を用いたPLD法で作製したSrTiO₃薄膜のポストアニールによる格子拡大

〇小野寺 巧¹、富士原 巧¹、中村 基訓¹、吉本 健一¹、篁 耕司¹ (1.旭川高専)

キーワード：PLD、アニール効果、YAG