[15p-P3-1~26] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-22] 分子プレカーサー溶液を用いたESD法によるTiO₂膜の成膜

〇小澤 竜平¹、佐野 諒¹、工藤 幸寛¹、永井 裕己¹、佐藤 光史¹、高橋 泰樹¹ (1.工学院大)

キーワード：分子プレカーサー法、ESD法、光充電型リチウムイオン電池