[15p-P3-1~26] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-5] 有機金属熱分解（MOD）法によるLaMnO₃薄膜の作製とその電気および磁気伝導特性

〇北邨 亨¹、祐本 美久¹、小堀 裕己¹、山崎 篤志¹、谷口 年史²、清水 哲夫³ (1.甲南大理工、2.阪大院理、3.産総研ナノテク)

キーワード：LaMnO3、有機金属熱分解法、伝導特性

LaMnO₃(LMO)単結晶は、ペロブスカイト構造をもつ反強磁性絶縁体であるが、SrをドープしたLa_1-xSr_xMnO₃(LSMO)は、x = 0.16以上では低温域で強磁性金属となる。強磁性金属相で見られる巨大磁気抵抗効果を利用した高感度磁気抵抗センサーなどの電子デバイスの可能性が示唆されている。LMO多結晶体に関しては、熱処理条件によりSrをドープしなくても、ホール・セルフドープの効果により強磁性金属にすることが可能である。本研究では、作製が比較的容易な有機金属熱分解（MOD）法を用いてLMO多結晶薄膜を作製し、その電気および磁気伝導特性を調べた。