[15p-P5-1~4] 9.3 ナノエレクトロニクス

[15p-P5-2] リアルタイムOSを用いたFCE法によるAu原子接合での制御パラメータの自律設定手法

〇岩田 侑馬¹、加藤木 悠¹、沼倉 憲彬¹、酒井 正太郎¹、白樫 淳一¹ (1.東京農工大院工)

キーワード：リアルタイムOS、フィードバック制御型エレクトロマイグレーション、量子化コンダクタンス