[15p-P6-1~2] 15.1 バルク結晶成長

[15p-P6-2] TSFZ法によるMg添加β-Ga₂O₃単結晶の育成

〇(M1C)福留 大貴¹、長尾 雅則¹、綿打 敏司¹、田中 功¹ (1.山梨大)

キーワード：酸化ガリウム、帯域溶融法

良質なp型β-Ga₂O₃単結晶育成に成功した例がほとんどない。そこでMgをアクセプタ不純物としてドープすることでp型β-Ga₂O₃単結晶の育成を試みた。本研究ではFloating Zone(FZ)法に着目し、Mgを含有した溶媒を用いたTraveling Solvent Floating Zone(TSFZ)法によるMg添加β-Ga₂O₃単結晶の育成および評価を行った。