[15p-P8-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-P8-2] Si単結晶中の点欠陥形成に与えるドーパントと平面応力の複合効果に関する第一原理解析

〇小林 弘治¹、山岡 俊太¹、末岡 浩治¹ (1.岡山県大情報工)

キーワード：Si単結晶、点欠陥、熱応力