[15p-P8-1~10] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-P8-5] Si結晶中のB近傍における金属原子の安定性と拡散障壁に関する第一原理計算

〇(M2)山田 惇弘¹、末岡 浩治² (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工)

キーワード：ゲッタリング、エピタキシャルウェーハ、拡散障壁