2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16a-213-1~7] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

2017年3月16日(木) 09:30 〜 11:30 213 (213)

斎藤 全(愛媛大)

10:00 〜 10:15

[16a-213-3] 変調アドミタンス法を用いた結晶/非結晶シリコンヘテロ接合の特性評価

岩崎 真宝1、酒井 作周1、清水 耕作1 (1.日大生産工)

キーワード:ヘテロ構造、シリコン