[16a-213-1~7] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16a-213-3] 変調アドミタンス法を用いた結晶/非結晶シリコンヘテロ接合の特性評価

〇岩崎 真宝¹、酒井 作周¹、清水 耕作¹ (1.日大生産工)

キーワード：ヘテロ構造、シリコン