2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー

[16a-315-1~10] 8.5 プラズマナノテクノロジー

2017年3月16日(木) 09:00 〜 11:30 315 (315)

古閑 一憲(九大)

09:15 〜 09:30

[16a-315-2] 高周波マグネトロンプラズマによるCH4を用いたグラフェンのCVD成長

〇(M1)石徹白 智1、山田 隼也1、河村 侑馬1、林 康明1 (1.京都工繊大)

キーワード:グラフェン