[16a-316-1~11] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

△ [16a-316-6] 可変波長フィルタのための強誘電性液晶装荷Nb₂O₅導波路の検討

〇榊原 健太郎¹、稲森 翔¹、武田 正行¹、中津原 克己¹ (1.神奈川工大)

キーワード：強誘電性液晶、導波路、五酸化ニオブ

我々は強誘電性液晶装荷導波路を用いた光デバイスについて研究してきた。​強誘電性液晶材料は大きな屈折率変化、比較的速い応答特性、自己保持特性を持つ。強誘電性液晶と高屈折率差の導波路と組み合わせることにより、小型、低消費電力、高密度集積可能な可変の光素子を実現できる。反応性DCスパッタリング装置を導波路形成に使用し、低温かつ高レートでの成膜及び低損失なNb₂O₅導波路の形成に成功したので報告する。