[16a-316-1~11] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

△ [16a-316-7] 共振器集積導波モード共鳴フィルタの干渉露光作製の検討

〇森 一輝¹、Lee Kyu Jin²、Yeong Hwan Ko²、Carney Daniel²、Magnusson Robert²、金高 健二³、井上 純一¹、裏 升吾¹ (1.京都工繊大、2.テキサス大アーリントン校、3.産総研)

キーワード：グレーティングカップラ、分布ブラッグ反射器、干渉露光

共振器集積導波モード共鳴フィルタ(CRIGF)のグレーティングカップラ(GC)と分布ブラッグ反射器(DBR)のパターニングへの干渉露光法の適用可能性を検討した。ロイドミラーの一部に傾斜をつけることで三光束干渉露光となる領域と二光束干渉露光となる領域ができ、それぞれの領域でGCとDBRの形成を期待できる。波長266nmのレーザ光を用いて周期0.88µmのGCパターンと周期0.44µmのDBRパターンを得た。