[16a-316-1~11] 3.14 Optical control devices and optical fibers

△ [16a-316-7] Three beam interference exposure of double-period grating for CRIGF

〇Kazuki Mori¹, Kyu Jin Lee², Ko Yeong Hwan², Daniel Carney², Robert Magnusson², Kenji Kintaka³, Junichi Inoue¹, Shogo Ura¹ (1.Kyoto Inst. Tech., 2.UT Arlington, 3.AIST)

Keywords:grating coupler, distributed Bragg reflector, interference exposure

共振器集積導波モード共鳴フィルタ(CRIGF)のグレーティングカップラ(GC)と分布ブラッグ反射器(DBR)のパターニングへの干渉露光法の適用可能性を検討した。ロイドミラーの一部に傾斜をつけることで三光束干渉露光となる領域と二光束干渉露光となる領域ができ、それぞれの領域でGCとDBRの形成を期待できる。波長266nmのレーザ光を用いて周期0.88µmのGCパターンと周期0.44µmのDBRパターンを得た。