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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術

[16a-413-1~12] 13.3 絶縁膜技術

6.1と13.3と13.5のコードシェアセッションあり

2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 413 (413)

渡邉孝信(早大)、小林清輝(東海大)

11:30 〜 11:45

[16a-413-10] XPSによるHfO₂の電子親和力と界面ダイポールの定量

〇藤村信幸¹、大田晃生¹、池田弥央¹、牧原克典¹、宮崎誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：X線光電子分光法、ダイポール