[16a-413-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[16a-413-6] MIMキャパシタの電荷放出特性評価手法

〇小澤 航大¹、蓮沼 隆¹、山部 紀久夫¹ (1.筑波大)

キーワード：MIM、電荷放出