[16a-414-1~9] 12.1 作製・構造制御

[16a-414-8] 有機蒸着薄膜形成における入射分子温度の測定

〇阿部 峰大¹、早川 宗孝²、下山 陽史²、田中 貴章²、辻 朗²、高橋 善和³、松原 亮介¹、久保野 敦史¹ (1.静岡大工、2.小島プレス工業(株)、3.(株)TI)

キーワード：有機薄膜成長、入射分子温度、真空蒸着