[16a-418-1~10] 3.8 光計測技術・機器

[16a-418-8] 高周波位相変調光を用いた動的変位計測
―MHz振動PZTの瞬時変位測定

〇木村 亮祐¹、土屋 光揮¹、田中 洋介¹、黒川 隆志^2,1 (1.農工大工、2.国立天文台)

キーワード：振動変位計測、干渉計、位相変調