[16a-422-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[16a-422-7] エッジ強調電子線描画法によるInP系曲げ導波路の作製と評価

〇新田 毅¹、右田 温¹、水島 裕亮¹、荒 雄也¹、山下 翼¹、清水 大雅¹ (1.農工大工)

キーワード：半導体リングレーザ、曲げ導波路、電子線描画