2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[16a-423-1~12] 1.5 計測技術・計測標準

2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 423 (423)

野中 秀彦(産総研)、菊永 和也 (産総研)

09:15 〜 09:30

[16a-423-2] 波高分析式質量同時測定型液中粒子計数装置による粒子数濃度標準開発

坂口 孝幸1 (1.産総研物質計測標準)

キーワード:粒子数濃度

産総研では、質量同時測定型液中粒子計数装置(SMM-OPC)を開発している。
測定対象となる母粒子懸濁液を希釈率Rで希釈し、希釈後懸濁液試料をSMM-OPCにより計数し、同時に計数された希釈後懸濁液質量を測定することで、母懸濁液粒子数濃度を求めた
2 µm試料での結果は濃度 1182 個/mg、拡張不確かさ 34 個/mgが得られた。不確かさの主要部分は、一定量の懸濁液中に含まれる粒子数の統計的ばらつきであった。現行標準の不確かさと比べると、約2/3まで減少してることが分かった。