[16a-423-1~12] 1.5 計測技術・計測標準

[16a-423-6] [講演奨励賞受賞記念講演] 多種ガス中微量水分の一次標準の開発に関する研究

〇天野 みなみ¹、阿部 恒¹ (1.産総研)

キーワード：微量水分、半導体、湿度

半導体デバイス製造では、使用される高純度材料ガス中にわずかに残留する水分を管理するために多数の微量水分計が導入されている。水の遍在性・吸着性ゆえに微量水分の測定は容易ではなく、市販微量水分計の中には十分な性能を有していないものが多数存在する。信頼性の高い計測結果を得るためには、標準を開発し、これに基づいて定期的に計測器の性能評価や校正を行うことが不可欠である。ここでは、窒素・アルゴン・酸素・ヘリウムを対象としたガス中微量水分の一次標準の開発について述べる。