[16a-424-1~7] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[16a-424-1] [7. ビーム応用　分科内招待講演] 超音速分子ビームによる表面化学反応の放射光光電子分光観察

〇吉越 章隆¹ (1.原子力機構)

キーワード：分子ビーム、放射光光電子分光、表面物理化学

気体分子と固体表面の化学反応は、基礎および応用ともに極めて重要な研究対象である。分子ビームによって明らかとなる表面化学反応の吸着ダイナミクスおよび新規反応探索に関する研究を紹介する。具体的には、ナノデバイス開発に重要なSiやGeなどの半導体表面の酸素分子による酸化反応を並進運動エネルギーおよび運動方向を制御した分子ビーム利用研究例として紹介し、その特徴および将来展望などを述べる。