[16a-502-1~12] 21.1 Joint Session K

△ [16a-502-12] Retention characteristics of a proton intercalated single-crystalline WO₃ film

〇Wataru Kuwagata¹, Hiroki Mito¹, Satoshi Murakami¹, Tomoya Iwata¹, Kazuto Koike¹, Yoshiyuki Harada¹, Mitsuaki Yano¹, Katsuhiko Inaba², Shintaro Kobayashi² (1.Osaka Inst. of Tech., NMRC, 2.Rigaku Corp., X-Ray Res. Lab.)

Keywords:tungsten trioxide, molecular beam epitaxy, proton intercalation

r面サファイア基板上にMBE法で成膜した単結晶WO₃薄膜を溶液ゲートタイプのエレクトロクロミック素子へ加工した．溶液ゲート表面を硫酸水溶液で満たして正バイアスを印加すると，タングステンブロンズと水和物が生成され，光透過率が大きく減衰し，移動度とキャリア密度が増大することが判った．今回，プロトンをインターカレーションした後の結晶構造，電気特性，光学特性の時間変化を調べた結果について報告する．