[16a-502-1~12] 21.1 Joint Session K

△ [16a-502-3] Characterization of ZnO nano particle layers formed by spray and evaporation drying methods

〇(M1)Shou Kasui¹, Daiki Itohara¹, Toshiyuki Yoshida¹, Yasuhisa Fujita¹ (1.Shimane Univ.)

Keywords:Zinc Oxide, nano particle layers, thin film transistor

スプレー法により ZnO ナノ粒子層を形成し、ホール測定や試作した薄膜トランジスタ(TFT)の動作モードから、n型および p 型の伝導層を再現性良く作り分けられることを示してきた .。しかし、シート抵抗が非常に高く試作した TFT 特性も実用化には程遠い結果となっている。そこで今回新たに蒸発乾燥法を用いて ZnO ナノ粒子層の作製と評価を行い、移動度や導電率の向上を確認した。さらに、粒径の小さい分散液を用いて粒子層を作製し比較した。