[16a-502-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [16a-502-3] スプレー法および蒸発乾燥法による酸化亜鉛ナノ粒子層の形成と評価

〇(M1)賀須井 渉¹、糸原 大貴¹、吉田 俊幸¹、藤田 恭久¹ (1.島根大院総理工)

キーワード：酸化亜鉛、ナノ粒子層、薄膜トランジスタ

スプレー法により ZnO ナノ粒子層を形成し、ホール測定や試作した薄膜トランジスタ(TFT)の動作モードから、n型および p 型の伝導層を再現性良く作り分けられることを示してきた .。しかし、シート抵抗が非常に高く試作した TFT 特性も実用化には程遠い結果となっている。そこで今回新たに蒸発乾燥法を用いて ZnO ナノ粒子層の作製と評価を行い、移動度や導電率の向上を確認した。さらに、粒径の小さい分散液を用いて粒子層を作製し比較した。