[16a-502-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [16a-502-7] 微量フッ素添加による塗布型酸化物TFTの特性改善

〇宮川 幹司¹、中田 充¹、辻 博史¹、藤崎 好英¹、山本 敏裕¹ (1.NHK技研)

キーワード：酸化物半導体、TFT

本報告では、塗布型酸化物TFTへの微量フッ素添加および水素導入・酸化処理の効果を評価したので報告する。