[16a-512-1~8] 薄膜・多層膜の界面イメージング

[16a-512-1] 薄膜・多層膜の埋もれた界面を可視化する新計測法について

〇桜井 健次¹ (1.物材機構)

キーワード：イメージング、X線反射率、中性子反射率

薄膜・多層膜の機能は、その膜構造、界面構造に左右されることが多く、構造を評価、検証する
技術は不可欠である。大面積の領域の平均構造の差異ではなく、面内の空間分解能をもって埋もれた界面を画像化し、機能に関わる構造の問題を地点を特定して議論できるような新しいイメージング技術が求められている。先端的なＸ線、中性子などのビーム技術による薄膜・多層膜の界面イメージング現状と将来課題を議論する。