[16a-512-1~8] 薄膜・多層膜の界面イメージング

[16a-512-2] マルチスライスＸ線タイコグラフィ：埋もれた界面のナノイメージングに向けて

〇高橋 幸生^1,2 (1.阪大院工、2.理研放射光センター)

キーワード：タイコグラフィ、X線イメージング