[16a-512-1~8] 薄膜・多層膜の界面イメージング

[16a-512-3] 薄膜材料の蛍光X線ホログラフィー

〇福村 知昭^1,2、林 好一³ (1.東北大WPI-AIMR、2.東北大院理、3.名工大院工)

キーワード：蛍光X線ホログラフィー、薄膜材料、CoドープTiO2

蛍光X線ホログラフィーは、ドープ系材料のドーパント付近の3次元局所構造を観測する強力な手法である。3次元局所構造を観測することで、材料の巨視的な新物性・機能の発現や新材料設計につながる可能性がある。講演では、蛍光X線ホログラフィーによる室温強磁性酸化物半導体CoドープTiO₂や他の薄膜材料の観測結果について紹介する。