[16a-514-1~11] 1.1 応用物理一般・学際領域

[16a-514-7] ta-C薄膜のおける深紫外ラマンスペクトル変化

〇(D)神津 知己^1,4、栗林 直也¹、山口 誠¹、川口 雅弘²、吉村 雅満³、源 泰寛⁴ (1.秋田大理工、2.都立産技研、3.豊田工大、4.イノコ株式会社)

キーワード：ラマン散乱、ta-C、深紫外光