[16a-B5-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

△ [16a-B5-9] Siヘテロ接合太陽電池応用に向けたp型BaSi₂の作製技術開発

〇高橋 一真¹、中川 慶彦¹、原 康祐²、黒川 康良¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.山梨大学クリスタル研)

キーワード：真空蒸着法、ヘテロ接合、太陽電池

ドーパントの偏析やクラック発生といった問題により、ノンドープでn型を示すBaSi₂のp型化は困難とされてきた。しかし、本研究はBドープ水素化アモルファスSi上に、BaSi₂を真空蒸着法により堆積し、BaSi₂を堆積する際の基板温度の最適化を行うことで、高キャリア密度を持つp型BaSi₂薄膜の作製に成功した。この手法の開発はをp型BaSi₂用いた高効率ヘテロ接合型太陽電池や、超高効率Si系タンデム太陽電池の実現を前進させた。