[16a-E204-1~10] 2.2 検出器開発

[16a-E204-8] サブミクロン分解能X線イメージングに向けた薄膜シンチレーターの開発とその性能評価

〇亀島 敬^1,2、竹内 晃久¹、上杉 健太朗¹、工藤 統吾^1,2、矢橋 牧名^1,2、初井 宇記^1,2 (1.高輝度セ、2.理研)

キーワード：シンチレーター、X線、検出器

透明セラミックス技術を応用し、透光性の極めて高い薄膜シンチレーターを開発した。本シンチレーターを用いてX線イメージング検出器を構築し、タンタル200 nm line & spaceのX線イメージを解像した。検出器が持つ空間分解能は回折限界である400 nm近くを達成した。本講演では、使用したシンチレーターバルクや界面の調査、X線検出器の性能向上の工夫についても触れる。