[16a-F203-1~11] 17.3 層状物質

△ [16a-F203-11] MoS2薄膜機械共振器の共振特性

〇吉川 大貴¹、宮本 悠雅¹、竹井 邦晴¹、有江 隆之¹、秋田 成司¹ (1.大阪府大工)

キーワード：二硫化モリブデン、共振器

2次元原子層膜は、そのユニークな電気的、光学的、機械的特性から有益な半導体材料として注目されている。中でも、二硫化モリブデン(MoS₂)等の遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)はグラフェンと異なり、層数に依存するバンドギャップを有するという特徴から、高機能ナノ電気機械デバイス（NEMS）への応用が期待されている。本研究では、NEMSへの応用へ向けMoS₂薄膜ドラム型機械共振器の作製方法と機械的共振特性の光学的測定法について検討した。