[16a-F203-1~11] 17.3 層状物質

[16a-F203-8] オゾン酸化によるエンハンスメント型MoS₂トランジスタの作製

〇足立 薫彦¹、下川 慶久¹、佐野 宏亮¹、田中 貴久¹、高橋 綱己^1,2、内田 建¹ (1.慶應大理工、2.九州大先導研)

キーワード：二硫化モリブデン、トランジスタ、酸化