[16a-P1-1~40] 1.2 Education

[16a-P1-19] Development of Students Experiments using the Blue LED -Fabrication Process-

〇Kazuki Shiogai¹, Naoki Wada¹, Akihiro Wakahara², Hiroto Sekiguchi², Shiro Sakai³ (1.NIT, Niihama College, 2.Toyohashi Univ. of Tech., 3.Tokushima Univ.)

Keywords:blue LED, students experiments, semiconductor

専門科目の講義や実験を早期導入できる高専教育の高度化として、学生実験への「青色LEDの製作と評価」の導入を計画している。そこで、実験教材のための青色LED製作プロセスの開発を行った。豊橋技科大よりn形電極まで形成したウェハーの供給を受け、p形電極形成から、後工程のパッケージングまで行った。その結果、明るい青色発光のLEDパッケージを製作できた。