[16a-P1-1~40] 1.2 教育

[16a-P1-19] 青色LEDを使った学生実験テーマの開発 －製作プロセス－

〇塩貝 一樹¹、和田 直樹¹、若原 昭浩²、関口 寛人²、酒井 士郎³ (1.新居浜高専、2.豊橋技科大、3.徳島大)

キーワード：青色LED、学生実験、半導体

専門科目の講義や実験を早期導入できる高専教育の高度化として、学生実験への「青色LEDの製作と評価」の導入を計画している。そこで、実験教材のための青色LED製作プロセスの開発を行った。豊橋技科大よりn形電極まで形成したウェハーの供給を受け、p形電極形成から、後工程のパッケージングまで行った。その結果、明るい青色発光のLEDパッケージを製作できた。