[16a-P1-1~40] 1.2 教育

[16a-P1-29] ショットキーバリヤダイオード教材の改良

江湖 俊仁¹、森 涼太¹、〇内海 淳志¹ (1.舞鶴高専)

キーワード：ショットキーバリヤダイオード、教材

半導体デバイスの特性は，材料，形状，周囲温度などによって変化する．これらを理解するためには，学生自身がデバイスを作製し，測定を行う実習が有効である．これまでにシリコン基板とアルミニウムを用いてショットキーバリヤダイオードを作製してきたが，電流電圧特性に大きなばらつきが見られるなど教材として利用しにくいという問題があった．基板，電極材料および作製プロセスを検討することによって特性が改善された．