[16a-P2-1~18] 12.6 ナノバイオテクノロジー

△ [16a-P2-4] 電子線励起バーチャル電極による液体試料の電気化学イメージング

〇遠山 渉¹、宮廻 裕樹¹、満渕 邦彦¹、星野 隆行¹ (1.東大・情理)

キーワード：倒立型電子線描画システム、バーチャル電極、電気化学イメージング

倒立型電子線描画システムにより窒化シリコンを介した低加速電圧の電子線照射を液体試料に対して行うと，一次電子は窒化シリコン内に停止・帯電し，局所的なバーチャル電極が生成され電場・電流が生じる．このバーチャル電極と電位計測機器を組み合わせることで，バーチャル電極を高速に走査可能な電気化学顕微鏡を提案し，液体試料内の微小物体のイメージングに取り組む．