[16a-P6-1~22] CS.5 9.4熱電変換,16.2エナジーハーベスティングのコードシェアセッション

[16a-P6-12] スパッタリング法によるスタック型熱電薄膜モジュールの製作と評価

〇高山 健¹、高尻 雅之¹ (1.東海大院工)

キーワード：熱電材料、モジュール

熱電材料は生活環境中の小さな温度差を利用する微小電力供給デバイスとして様々な所への使用が検討されている．具体的には携帯電話などである．しかし，小型の熱電材料は性能が低いという問題点がある．この問題点を解決するため本研究ではBi-TeをN型，Sb-TeをP型として成膜を行い，アニール処理を行った．その後，電気伝導率，ゼーベック係数，パワーファクターを算出し，平均を求めた．最後にモジュールの製作・出力の評価も行った．